[에너지데일리 송병훈 기자] 한국방사선진흥협회(회장 정경일)은 지난 2019년부터 과학기술정보통신부로부터 위탁받아 방사선기술사업화지원사업을 수행하고 있다.
2023년까지 진행되는 방사선기술사업화지원사업은 지역별 대형연구시설 인프라의 활용성 제고 및 방사선기술 분야의 강점·유망기술의 활용 촉진, 그리고 체계적인 기술사업화 지원 등을 통해 방사선 산업을 국가 핵심 산업으로 육성하는 것이 목표다.
주요 사업내용으로는 출연연, 대학 등에서 개발한 방사선 분야의 기술이전 촉진 지원, 국가에서 투자한 대형방사선연구시설 중심의 혁신체계(클러스터) 조성 및 기업의 시설 이용 활성화 지원, 우수·유망 기술의 사업화 및 시장진출 지원 등이다.
이에 본지는 한국방사선진흥협회의 협조를 받아, 현재 관련 사업에 참여하고 있는 업체와 대학들의 핵심기술 및 연구성과, 그리고 앞으로의 바람 등을 들었다.
인터뷰는 코로나19 등의 상황을 감안, 모두 서면 및 이메일을 통해 진행됐으며, 질문 내용은 모두 같다. 그 첫번째는 (주)뉴케어와 (주)트리노테크놀로지다.
■ 오광훈 / (주)트리노테크놀로지 (공동)대표
- 회사 및 기술에 대해 간략하게 설명해주신다면.
▲ (주)트리노테크놀로지는 전력변환회로의 핵심 부품인 전력반도체 소자를 생산·판매하고 있다. 국내·외 파운드리를 활용해 제품을 생산하는 설계 중심의 기술 전문 기업이지만, 전력반도체 소자 중 고전압·고효율 분야의 핵심소자인 IGBT(Insulatd Gate Bipolar Transistor, 절연 게이트 타입 바이폴라 트랜지스터)의 경우, 핵심 제조 공정인 박막 가공을 포함한 후면 공정은 자체 시설을 보유하고 있으며, 글로벌 대기업에 준하는 제품을 구현하고 있다.
- 해당 기술에 대한 연구를 추진하게 된 배경, 그리고 차별성과 우수성을 소개한다면.
▲ 전력반도체 핵심소자 중 하나인 IGBT 소자는 박막 가공 이후에 반도체 공정을 통해 n-형 혹은 p-형 영역을 형성해야 하지만, 전면 공정이 완료된 이후에는 전면의 금속층인 Al(알루미늄)로 인해 Al의 융점이하인 500도 이하로 공정이 극히 제한적이다.
이를 해결하기 위한 방안의 하나로 방사선 기술 분야 중 양성자 조사(照射)를 활용, n-형 영역을 형성하는 방법을 통한 IGBT를 구현했다. 현재 국내에는 상용화된 서비스를 제공하는 기관이 없는 상황이다. 따라서 기술 개발과 함께 상용화를 위한 방안이 추가적으로 요구되고 있다. 현재는 일본 회사의 상용화 서비스를 활용하고 있다.
- 수행중인 R&D과제 내용 중 현재까지의 사업화 진척사항, 실적을 말씀해달라.
▲ (주)트리노테크놀로지는 2008년 창업 이후 지속적으로 IGBT의 성능개선을 통해 사업을 성장시켜 왔다. 기존 제품으로는 가전용·산업용 시장에 진입했다. 다양한 양성자 조사 공정 조건 및 후처리 공정 등을 통해 박막의 웨이퍼에 IGBT를 구현, 추가적인 특성 개선과 더불어 고신뢰성이 요구되는 전장용 분야에 적용 가능한 제품을 개발하고 있다.
이번 수행과제를 통해 기존에 전적으로 해외업체에 의존하던 양성자 조사 공정을 국내기술로 대체 가능하다는 것이 확인, 검증됐다.
현재까지의 실험 결과 기존과 동등 수준의 특성을 확보했으며, 사업화를 위해 웨이퍼(wafer)별 혹은 묶음(lot)별 산포 특성을 추가적으로 검증하고 있다.
- 올해 12월말까지 사업화 성과를 도출하는 것을 목표하고 있는 것으로 알고 있다. 해당 R&D를 통한 기대효과는 무엇인지.
해외업체와 국내기관, 두가지 솔루션을 확보함에 따라, 사업화 측면에서 생산 리스크를 감소시킬 수 있다.
국내기관을 통해 양성자 조사를 진행할 경우, 전체 공정시간 단축이 가능하기에 생산성 향상의 효과를 얻을 수 있다. 더불어 국내기관과의 협업을 통해 생산과 다양한 연구활동을 병행, 효과적인 기술 개발이 가능할 것으로 예상하고 있다.
또한 해외업체와 국내기관, 두가지 솔루션을 확보함에 따라, 사업화 측면에서 생산 리스크를 감소시킬 수 있다.
국내기관을 통해 양성자 조사를 진행할 경우, 전체 공정시간 단축이 가능하기에 생산성 향상의 효과를 얻을 수 있다. 더불어 국내기관과의 협업을 통해 생산과 다양한 연구활동을 병행, 효과적인 기술 개발이 가능할 것으로 예상하고 있다.
- 사업화 추진과정에서의 겪는 어려움, 그리고 향후 연구방향 및 계획이 궁금하다.
▲ 양성자 조사 등은 중소민간기업이 운영하기에는 경제적인 부담 및 관리 등의 어려움이 있다. 따라서 향후에도 해외업체의 상용화 서비스 활용과 국내기관의 개발 환경을 병행, 활용해 나갈 예정이다. 또한 국내기관의 활용도 향상을 위해 150mm wafer 전용 양성자 조사 환경에 대한 투자도 검토하고 있다.
